{"id":2941,"date":"2022-02-03T08:36:16","date_gmt":"2022-02-03T14:36:16","guid":{"rendered":"https:\/\/www.IpsenHarold.com\/?p=2941"},"modified":"2026-03-11T17:23:34","modified_gmt":"2026-03-11T17:23:34","slug":"how-do-diffusion-pumps-work","status":"publish","type":"knowledge-center","link":"https:\/\/ipsenglobal.com\/de\/knowledge-center\/how-do-diffusion-pumps-work\/","title":{"rendered":"Fragen Sie den Experten: Wie funktioniert eine Diffusionspumpe?"},"content":{"rendered":"
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\"Ipsen<\/figure>\n<\/div>\n\n\n

Die Grundlagen der Vakuum-Ofenpumpensysteme<\/h2>\n\n\n\n

Vakuumofensysteme verwenden verschiedene Arten von Pumpen, um den atmosph\u00e4rischen Druck aus der Kammer zu evakuieren und das erforderliche Vakuum zu erreichen. Jedes Vakuumpumpsystem besteht in der Regel aus zwei Teilsystemen, der Vorvakuumpumpe und der Vakuumerh\u00f6hungspumpe. Das Hinzuf\u00fcgen einer Diffusionspumpe f\u00fchrt zu einem niedrigeren Systemdruck, als er mit dem zweistufigen System allein erreicht werden kann. Die Diffusionspumpe kann nicht unabh\u00e4ngig arbeiten; sie ben\u00f6tigt eine Haltepumpe, die w\u00e4hrend des Leerlaufs gleichzeitig arbeitet, um den Innendruck der Diffusionspumpe zu reduzieren. W\u00e4hrend des Betriebs der Diffusionspumpe ist das Ventil zur Haltepumpe abgesperrt, und die Vorvakuumpumpe und die Druckerh\u00f6hungspumpe dienen als Vorlaufsystem f\u00fcr die Diffusionspumpe. Eine Diffusionspumpe reduziert das Vakuumniveau von Atmosph\u00e4rendruck auf ein Niveau von 8,0 x 10-6<\/sup> Torr, im Gegensatz zu 4,5 x 10-2<\/sup> Torr mit dem zweistufigen System (in einem sauberen, trockenen und leeren Feuerraum).<\/p>\n\n\n\n

Wie funktionieren die Diffusionspumpen?<\/h3>\n\n\n
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Damit die Diffusionspumpe richtig funktioniert, m\u00fcssen die Haupt- und Vorlaufventile ge\u00f6ffnet sein, damit der Ofen im Hochvakuum arbeiten kann. Die Fl\u00fcssigkeit am Boden der Pumpe wird bis zum Sieden erhitzt und durch die Mitte der D\u00fcsenanordnung nach oben gedr\u00fcckt. \u00dcberschall-\u00d6lnebelmolek\u00fcle schie\u00dfen aus den D\u00fcsen nach unten und treiben die leichteren Gasmolek\u00fcle zum Boden der Pumpe. Die Gasmolek\u00fcle werden an der Ejektord\u00fcse aufgefangen und durch das Pumpsystem aus der Pumpe gezogen. Das \u00d6l kehrt beim Kontakt mit den kalten Seitenw\u00e4nden in die fl\u00fcssige Form zur\u00fcck und sammelt sich am Boden der Pumpe, um wieder erw\u00e4rmt zu werden. Anders ausgedr\u00fcckt: Eine Diffusionspumpe funktioniert \u00e4hnlich wie eine Kaffeemaschine.<\/p>\n\n\n

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\"Agilent<\/figure>\n<\/div>\n\n\n

Brauche ich eine Diffusionspumpe?<\/h3>\n\n\n\n

Ob Sie eine Diffusionspumpe ben\u00f6tigen oder nicht, h\u00e4ngt von Ihren Prozessanforderungen ab. Viele Industriezweige, darunter die Luft- und Raumfahrt und die Kernkraft, schreiben in ihren Standardbetriebsverfahren Hochvakuumbetrieb vor. Bestimmte Verfahren, wie z. B. das Hartl\u00f6ten, erfordern auch einen niedrigeren Systemdruck, um sauberere Teile zu produzieren. Wenn Sie hochwertige Legierungen verarbeiten, tr\u00e4gt eine Diffusionspumpe ebenfalls dazu bei, dass die Teile sauber und gl\u00e4nzend werden. Andererseits ist f\u00fcr die meisten H\u00e4rteanwendungen keine Diffusionspumpe erforderlich.<\/p>\n\n\n\n

Weitere Informationen zu Diffusionspumpen finden Sie in diesen hilfreichen Ressourcen:<\/h4>\n\n\n\n