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专家问答:扩散泵是如何工作的?

Ipsen vacuum furnace diffusion pump

真空炉泵系统的基础知识

真空炉系统使用各种类型的泵将大气压力从炉膛中排空,以达到所需的真空度。每个真空炉抽气系统中通常包括两个子系统--粗抽泵和真空增压泵。增加一个扩散泵将导致系统压力低于单独使用两级系统所能达到的压力。扩散泵不能独立运行,它需要一个保持泵在空闲模式下同时运行,以降低扩散泵的内部压力。在扩散泵运行期间,通往保持泵的阀门被隔离,粗抽和增压泵作为扩散泵的后备系统。扩散泵会将真空度从大气压降低到8.0 x 10的水平-6 托,而不是4.5 x 10-2 使用两级系统的托尔(在清洁、干燥和空炉中)。

扩散泵是如何工作的?

Agilent Diffusion Pump

为了使扩散泵正常工作,主线和前线的阀门必须打开,使炉子在高真空下运行。泵底部的液体被加热到沸腾,并被强迫向上通过喷射组件的中心。超音速油雾分子从射流喷嘴向下喷射,迫使较轻的气体分子向泵的底部移动。气体分子在喷射器喷嘴处被收集,并被泵系统拉出泵外。油在接触到冷的侧壁后,返回到液体形式,并聚集在泵的底部被重新加热。换个角度想,扩散泵的工作方式与咖啡渗滤器类似。

Agilent Diffusion Pump

我需要一个扩散泵吗?

你是否需要一个扩散泵取决于你的工艺要求。许多行业,包括航空航天和核电,在其标准操作程序中强制要求高真空操作。某些工艺,如钎焊,也需要较低的系统压力来生产更清洁的零件。同样,如果你正在加工高端合金,扩散泵将有助于零件的清洁和明亮。另一方面,大多数淬火应用不需要扩散泵。

关于扩散泵的更多信息,请查看这些有用的资源。

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