Von Matt Clinite, Verkaufsleiter
Leckraten kann trügerisch sein. Es kann sein, dass Sie saubere, glänzende Teile aus Ihrem Ofen kommen sehen, obwohl die Leckrate auf ein Problem hindeutet. In anderen Fällen können Sie eine Verfärbung der Teile feststellen, ohne dass es Anzeichen für eine erhöhte Leckrate gibt.
Dies sind häufige Situationen, die zu Verwirrung und zusätzlicher Fehlersuche führen können. Schauen wir uns beide Szenarien genauer an und zeigen einige praktische Möglichkeiten auf, wie man das Problem eingrenzen kann, bevor man Stunden mit der Diagnose des falschen Problems verbringt.
Saubere Teile, verdächtige Leckrate
Einer der häufigsten Gründe dafür, dass Sie ein sauberes Teil erhalten, obwohl die Leckrate höher als erwartet ist, kann eine verschlissene Dichtung in einem der Füll- oder Teildruckventile sein.
Bei dieser Art von Leckagen kann Inertgas in die Kammer eindringen, so dass es zu keiner chemischen Wechselwirkung zwischen dem austretenden Gas und den Teilen kommen kann. Ein langsames Inertgasleck kann jedoch bei einer Rezeptur, die ein niedriges Vakuum erfordert, Probleme verursachen. So kann ein Prozessgasleck beispielsweise verhindern, dass der Ofen das erforderliche Vakuum erreicht, um das Hauptventil der Diffusionspumpe auszulösen.
Am besten lässt sich diese Theorie überprüfen, indem man die Gaszufuhr mit dem manuellen Ventil absperrt, den Ofen unter Vakuum setzt und prüft, ob die Anomalie der Leckrate weiterhin besteht.
Wenn sich die Leckrate bei geschlossenen manuellen Ventilen wieder normalisiert, bedeutet dies wahrscheinlich, dass Gas entweder am Rückfüllventil oder am Unterdruckmagnetventil austritt.
Wie immer sollten Sie beim Austausch eines Ventils die Anweisungen des Herstellers befolgen. Wenn Sie eine Absperrklappe auswechseln, nutzen Sie die Vorteile des Ipsen Empfohlene Verfahren für den Einbau einer Absperrklappe.
Denken Sie daran, dass Leckraten kumulativ sind. Viele verschiedene Quellen können zu einer hohen Leckrate beitragen. Hören Sie also nicht einfach auf, wenn Sie ein undichtes Ventil gefunden haben, sondern seien Sie gründlich und stellen Sie sicher, dass Sie bei der Prüfung des gesamten Systems alle Lecks erfassen.
Verfärbte Teile, gleichbleibende Leckagerate
Verfärbte Teile sind ein Zeichen dafür, dass während der Verarbeitung unerwünschte Gase, in der Regel atmosphärische Luft, in den Ofen gelangt sind. Aber wie kann das passieren, wenn es keine Anzeichen für eine erhöhte Leckrate gibt?
Die Antwort ist häufig ein Leck oder ein Lufteinbruch in Ihrem Prozessgasbehälter oder in den Gasversorgungsleitungen.
Beim Nachfüllen oder durch die natürliche Ausdehnung und Kontraktion von Leitungen aufgrund von Temperaturschwankungen kann manchmal Luft in den Tank oder die Leitungen gelangen.
Es mag widersinnig erscheinen, dass in Gasleitungen, die unter Druck stehen, Umgebungsluft eindringen kann, aber ein physikalisches Phänomen namens Venturi-Effekt kann dazu führen, dass atmosphärische Luft in die Leitung gesaugt wird und das Prozessgas beim Ausströmen verdrängt.
Bevor Sie annehmen, dass Luft in den Brauchgas-Reservetank gelangt ist, stellen Sie mit einem Blasentest sicher, dass keine Lecks in den Brauchgasleitungen vorhanden sind. Achten Sie dabei genau auf jeden Anschluss und jede Biegung.
Wenn Sie ein Leck entdecken, egal wie groß es ist, befolgen Sie alle Prozessgassicherheitsprotokolle, dichten Sie das Leck ab (egal wie klein es ist) und melden Sie das Leck Ihrem Sicherheitskontakt.
Wenn nach einer gründlichen Inspektion keine Lecks in den Prozessgasleitungen zwischen Ihrem Ofen und dem Behälter entdeckt werden, kann es ratsam sein, Ihr Prozessgas geprüft auf Taupunkt um das Vorhandensein von Feuchtigkeit festzustellen.
Tipp: Um zu vermeiden, dass nach dem Nachfüllen eines Prozessgasbehälters oder nach Arbeiten an einer Gasleitung Lufteinschlüsse in den Prozessleitungen entstehen, sollten Sie Ihren Ofen wieder befüllen und ein- oder zweimal abpumpen, um sicherzustellen, dass alle unerwünschte Luft aus dem System entfernt wurde und dass alle zum Ofen führenden Leitungen ordnungsgemäß mit Prozessgas gefüllt sind. Wenn die Prozessgasleitungen von Ihrem Ofen zu Ihrem Behälter besonders lang sind, müssen Sie diesen Zyklus möglicherweise mehr als zweimal wiederholen.
Weitere hilfreiche Tipps finden Sie in unserem Frag den Experten Seite.