マット・クリナイト（セールス・ディレクター
リークアップ率 は欺くことができる。漏出率に問題があるにもかかわらず、炉からきれいで明るい部品が出てくることがあります。また、リーク率の増加の兆候なしに部品の変色に気づくこともあります。.
これらは、混乱とさらなるトラブルシューティングにつながる一般的な状況です。両方のシナリオを詳しく見てみましょう。そして、間違った問題の診断に何時間も費やす前に、問題を特定するための実践的な方法をいくつかご紹介します。.
クリーンな部品、疑わしいリークアップ率
予想以上のリークアップ率にもかかわらず、きれいな部品を手に入れることができる最も一般的な理由のひとつは、埋め戻しバルブまたは部分加圧バルブのいずれかのシールが摩耗していることです。.
このようなタイプのリークでは、不活性ガスがチャンバー内に入るため、リークガスと部品との間に化学的相互作用が生じない可能性がある。しかし、低速の不活性ガスリークは、低真空を必要とするレシピ中に問題を引き起こす可能性があります。例えば、プロセスガスのリークは、拡散ポンプへのメインバルブのトリガーに必要な真空レベルに炉が到達するのを妨げるかもしれません。.
この理論を検証する最良の方法は、手動バルブを使って炉へのガスラインを遮断し、炉内を真空にしてガス供給を遮断し、それでもなおリーク率の異常があるかどうかをチェックすることである。.
すべての手動バルブを閉じた状態でリーク率が正常に戻った場合、ガスが埋め戻しバルブまたは部分圧ソレノイドのどちらかを通過して漏れている可能性が高く、バルブを交換する必要があることを示しています。.
いつものように、バルブの交換は製造元の指示に従ってください。バタフライバルブを交換する場合は、Ipsen の バタフライバルブの推奨設置手順.
リーク率は累積的なものであることを忘れないでください。多くの異なる原因が高いリーク率に寄与している可能性があるため、リークしているバルブを1つ見つけただけで終わりにしないでください。.
部品の変色、一貫したリークアップ率
部品が変色するのは、処理中に不要なガス（通常は大気）が炉内に侵入した証拠です。しかし、リーク率の上昇を示す警告がないのに、なぜこのようなことが起こるのでしょうか？
その答えは、プロセスガスタンクやガス供給ラインからの漏れや空気の混入であることが多い。.
空気がタンクや配管に混入するのは、再充填時や、温度変化による配管の自然な膨張・収縮の結果であることがある。.
圧力がかかっているガス管に周囲の空気が入り込むというのは、直感に反するように思えるかもしれない。 ベンチュリー効果 は、大気をラインに引き込み、プロセスガスを置換して流出させる可能性がある。.
プロセス・ガス・リザーブ・タンクに空気が入ったと考える前に、バブル・テストでプロセス・ガス・ラインのどこにも漏れがないことを確認してください。すべての継手と曲げ部に細心の注意を払ってください。.
いかなる量の漏れを発見した場合も、すべてのプロセスガス安全プロトコルに従い、漏れを密閉し（どんなに小さくても）、安全担当者に報告してください。.
徹底的な点検の後、炉とリザーバー間のプロセスガス配管に漏れが発見されなければ、プロセスガス配管を点検することをお勧めします。 露点試験済み 水分の存在を検知する。.
ヒント プロセスガスタンクの補充やガスラインの作業後にプロセスラインにエアポケットが発生するのを防ぐため、炉を埋め戻してポンプで1～2回圧送し、不要な空気がシステムから排出され、炉につながる全てのラインがプロセスガスのみで適切に充填されていることを確認してください。炉からリザーバーまでのプロセスラインが特に長い場合は、このサイクルを2回以上繰り返す必要があるかもしれません。.
より役立つヒントについては、以下をご覧ください。 専門家に聞くページ.