销售总监 Matt Clinite 报道
泄漏率 可能具有欺骗性。您可能会看到干净明亮的部件从炉子中流出，即使泄漏率表明存在问题。有时，您可能会发现部件变色，但没有任何泄漏率增加的迹象。.
这些都是常见的情况，可能会导致混乱和额外的故障排除。让我们仔细分析一下这两种情况，以及在花费数小时诊断错误问题之前找出问题所在的一些实用方法。.
清洁部件，可疑泄漏率
尽管泄漏率高于预期，但您可能会得到一个干净的部件，其中一个最常见的原因可能是某个回填阀或部分压力阀的密封件磨损了。.
这类泄漏允许惰性气体进入腔室，因此泄漏气体与部件之间可能不会产生化学作用。然而，缓慢的惰性气体泄漏仍会在需要低真空的配方中造成问题。例如，工艺气体泄漏可能会导致熔炉无法达到触发扩散泵主阀所需的真空度。.
验证这一理论的最佳方法是使用手动阀门切断通往熔炉的气路，将熔炉抽成真空，然后检查是否仍然存在泄漏率异常，从而隔离气源。.
如果在关闭所有手动阀门的情况下泄漏率恢复正常，则很可能意味着气体通过回填阀或部分压力电磁阀泄漏，表明应更换阀门。.
一如既往，请按照制造商的说明更换阀门。如果您要更换蝶阀，请利用益普生的 安装蝶阀的建议步骤.
请记住，泄漏率是累积的。许多不同的泄漏源都可能导致高泄漏率，因此不要在发现一个泄漏阀门后就停止检测，而要彻底检测，确保在检测整个系统时捕捉到所有泄漏点。.
褪色部件、稳定的泄漏率
部件变色表明在加工过程中不需要的气体（通常是大气中的空气）进入了熔炉。但是，在没有泄漏率增加警报的情况下，怎么会出现这种情况呢？
答案往往是工艺气罐或气体服务管路出现泄漏或空气入侵。.
在加注过程中，或由于温度变化导致供水管道自然膨胀和收缩，空气有时会进入水箱或管路。.
压力下的气体管路可能会让周围的空气进入，这似乎有悖于直觉，但有一种物理现象叫做 文丘里效应 会导致大气中的空气被吸入管路，从而在工艺气体流出时将其置换掉。.
在假定空气已进入工艺气体储备罐之前，应通过气泡测试确保工艺气体管路没有泄漏。务必密切注意每个接头和弯管。.
如果发现任何数量的泄漏，请遵守所有工艺气体安全规程，封堵泄漏（无论多 小），并向安全联系人报告泄漏情况。.
在彻底检查之后，如果没有发现熔炉和储气罐之间的工艺气管路有泄漏，则建议您将工艺气 露点测试 以检测是否存在湿气。.
小贴士 为避免在加注工艺气罐或对气体管路进行操作后在工艺管路中出现气穴，请回填炉子并向下抽气一到两次，以确保系统中的多余空气被排空，并确保通往炉子的所有管路都只充有工艺气体。如果从熔炉到储气罐的工艺管路特别长，您可能需要重复此循环两次以上。.
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