拡散ポンプ
PdMetrics® は、水温と油温を観察し、出力が適切な範囲内にあることを確認することで、ディフュージョンポンプの健全性を継続的に監視します（下のダッシュボードに表示されています）。
以下の例では、PdMetricsは® は、顧客の拡散ポンプ・ヒーターのキロワット値が低いことを検知し、顧客に電子メールで通知しました。彼らはヒーターをチェックし、生産に大きな影響を与えたり、部品の品質低下を引き起こしたりする前に状態を修正することができました。
ヒーターに欠陥のある拡散ポンプは、真空レベルが低下し、通常のアウトガス負荷に耐えられず、オイル蒸気がホットゾーンに逆流する可能性がある。
荒引きポンプ
PdMetrics® は、荒引きポンプの油温と排気圧力も監視しています。ある顧客が排気圧力の上昇を警告されたとき、メンテナンスチームはPdMetricsを見ることができました。® ダッシュボードに必要なメンテナンスの詳細が表示されます。
このような情報をリアルタイムで提供することで、顧客は早期に行動を起こすことができ、回避することができる：
- ポンプ停止時間の増加
- ポンプ性能の低下
- 荒引きポンプの損傷
PdMetricsで®メンテナンス作業は、固定されたスケジュールではなく、実際の使用量と摩耗に基づいて行われるため、メンテナンスチームの時間と不必要な経費を節約することができる。