拡散ポンプ は、真空ポンプ界の驚異とみなされることが多い。操作が簡単で、可動部品がなく、メンテナンスがほとんど必要なく、比較的安価である。
しかし、拡散ポンプにもいくつかの注意点がある。以下は、真空炉ユーザーが拡散ポンプを使用する際に避けるべき12の事柄のリストである。
拡散ポンプの注意点
- をしてはならない。 代用ポンプ液を使用してください。
- をしてはならない。 ディフュージョンポンプが真空下にある場合（特に高温の場合）、ドレンまたは充填プラグを開けようとする。
- をしてはならない。 ファーネスシステム内でのガス漏れや継続的なガス発生により、ポンプインレット付近の圧力が2ミクロンを超える場合は、インレットバルブを開いたままにしてください。
- をしてはならない。 推奨定格電力以上のヒーターを使用してください。
- をしてはならない。 液面が低くなったら、拡散ポンプを作動させます。
- をしてはならない。 コイルに冷却水が循環していない状態でポンプを運転したり、適切なバックポンプがない状態でポンプを運転したりしないでください。大規模な設備では、二重保護システムが望ましい。サーモスタット装置は通常、液不足や水不足の場合にポンプを保護するが、制御回路の故障は常に起こりうる。
- をしてはならない。 オーバーライド安全装置。
- をしてはならない。 ディフュージョンポンプが高温の場合は、ポンプに大気を導入する。
- をしてはならない。 ポンプに液体が適切にチャージされ、0.5Torr以下に排気されていない限り、ポンプの電源をオンにします。
- をしてはならない。 ポンプを爆発性の蒸気、粉体、または推奨ポンピング液と反応する可能性のある物質で汚染してください。
- をしてはならない。 ポンプが停止している場合、クイッククールコイルを操作してください。ヒーター端子に有害な凝縮水が溜まることがあります。
- をしてはならない。 ポンプが運転中でなく、大気にさらされているときは、ポンプ冷却水をつけたままにしてください。つけたままにしておくと、ポンプ内部に水分が結露することがあります。
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