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专家问答:我如何在我的真空炉中运行清洁循环?

Graphite and Metal vacuum furnace hot zones

在当今竞争激烈的商业环境中,确保你的设备高效运行并尽可能延长使用寿命是很重要的。延长你的设备寿命的一个有效方法是 真空炉 保持一个没有加工污染物的清洁热区。以下是对石墨或金属热区进行清洁循环的一般指南:

1. 坡道阶段: 以每分钟≤20°F(≤11°C)的速度缓慢加热(升温)炉子,达到清理温度,该温度通常比正常工艺循环中达到的最高操作温度高100°F(56°C),但不应超过最高允许炉温。

请注意。 如果最高工艺循环温度<1,900 °F (1,038 °C),净化温度仍应≥2,000 °F (1,093 °C)。

2.P惯性压力: 在程序的斜坡阶段,应使用氮气或氩气分压,以最大限度地提高传热,并使过程中的污染物不进入扩散泵。当气体压力设置在(或接近)最大的允许分压时,可以实现最大的效益,通常是1,000到2,000微米。

3.浸泡阶段: 一旦炉子达到设定点(清理温度),保持温度和部分压力60分钟。然后,从工艺中移除分压事件,让炉子抽到尽可能低的真空度。一旦真空度稳定在最低水平(通常在五到十分钟内达到),让炉子在这种硬真空条件下浸泡,保持温度,再过60分钟。

4.断电阶段: 关闭加热器,允许炉子真空冷却(即不使用回填气体或风扇)至< 1,500 °F (816 °C)。

请注意。 如果需要精确的泄漏率计算,应该在≥四个小时的时间内进行,在执行上述步骤后开始,并允许炉子真空冷却到≤80 °F (27 °C) - 或尽可能地接近环境温度。

5.冷却阶段: 如果不进行检漏试验,一旦炉子达到 < 1,500 °F (816 °C),可以用风扇冷却到室温。

6. 最后检查: 打开门。目视检查加热元件和所有热区部件的清洁度和机械完整性。进行元件对地检查,以确认适当的电阻(通常为87Ω至110Ω)。

其他考虑因素:
  • 热区污染将根据材料、热处理工艺和生产量而变化。这意味着没有一个放之四海而皆准的清理周期。上述过程可能需要根据你的特殊要求进行调整。斜率、气体压力和浸泡时间都可以在允许的范围内调整,以达到最佳效果。重要的是,要始终参考你的炉子设备手册,以了解确切的规格。
  • 如果你有一个较旧的炉子或已经停产了一段时间的炉子,请考虑以下几点:
    • 真空炉必须采取较高的温度,并浸泡足够长的时间,以达到稳定的热损失条件。在进行清理循环之前,请确保你的炉子能够承受这种情况。
    • 对于大多数Ipsen品牌的炉子来说,该平均清理温度不应超过2200°F(1204°C)。

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