当你想到影响真空炉和泵系统的常见维护问题时，逆流是扩散泵中报告较多的问题之一。
所有的扩散泵都会出现少量的逆流现象。虽然这对许多应用来说是可以接受的，但更关键的应用需要安装一个挡板，以防止颗粒离开扩散泵并到达主工艺。在扩散泵和主阀之间使用次冷冻冷阱可以大大降低油品逆流到炉子里的能力。
什么是逆流？
泵送系统被设计为向某一方向泵送。当泵送流体的流动方向与所需方向相反时，就会发生逆流现象。这导致泵送流体进入真空炉室，而不是按照预期的方向流回泵的底座，在那里进行再循环。当炉膛内的压力继续上升时（交叉后），仍处于过渡期的流体有更大的可能通过压力差被拉入容器内。
逆流会导致什么问题？
逆流会导致热区或零件的污染。油也可能进入任何钎焊材料，导致钎焊和粘合不良。逆流还可能影响整个泵送系统，而不仅仅是泵本身。
导致逆流的可能原因是什么？
- 异常交叉进入高真空-正常交叉是80微米或更少。
- 长期在一微米以上运行
- 油位低或高
- 扩散泵过热-理想的水温应该是60-80 °F (16-27 °C)；水出口最高温度为125 °F (52 °C)。导致过热的原因包括
- 水流量低或没有水流量
- 进水太热（超过90°F/32°C）。
- 扩散泵或保温泵回路中出现泄漏
- 扩散泵的热量输入低，原因是。
- 有缺陷的加热器
- 保险丝断裂或电线断开
- 太多的油
- 过量的水
- 水温太低
- 错误的或不适当的接线替代加热器
- 暴露在冷空气中的扩散泵热电偶
- 在主阀完全关闭前回填腔体
- 运行不良或尺寸不足的备用泵
- 改变所使用的泵送液的制造商。这可能会影响工作温度，使其过热或过冷。
请注意。 不要使用铜线或铜耳来连接加热器，因为它们会被氧化并失效。只能使用镍线和镍耳。作为一个短期解决方案，也可以使用不锈钢吊耳。
有一个与热处理有关的问题？