Wenn Sie an häufige Wartungsprobleme denken, die Ihren Vakuumofen und Ihr Pumpsystem betreffen, ist Rückströmung eines der häufigsten Probleme bei Diffusionspumpen.
Bei allen Diffusionspumpen kommt es zu einer geringen Rückströmung. Während dies für viele Anwendungen akzeptabel ist, muss bei kritischeren Anwendungen ein Ablenkblech installiert werden, um zu verhindern, dass Partikel die Diffusionspumpe verlassen und in den Hauptprozess gelangen. Die Verwendung einer unterkühlten Kühlfalle zwischen der Diffusionspumpe und dem Hauptventil kann die Fähigkeit des Öls, in den Ofen zurückzufließen, erheblich reduzieren.
Was ist Backstreaming?
Das Pumpsystem ist so ausgelegt, dass es in eine bestimmte Richtung pumpt. Backstreaming tritt auf, wenn das Fördermedium entgegen der gewünschten Richtung fließt. Dies führt dazu, dass das Fördermedium in die Kammer des Vakuumofens eintritt, anstatt in der gewünschten Strömungsrichtung zurück in die Basis der Pumpe zu fließen, wo es zurückgeführt wird. Wenn der Druck in der Kammer weiter ansteigt (nach dem Crossover), hat die Flüssigkeit, die sich noch im Übergang befindet, ein höheres Potenzial, über den Druckunterschied in den Behälter gezogen zu werden.
Welche Probleme kann Backstreaming verursachen?
Eine Rückströmung kann zu einer Verunreinigung der heißen Zone oder der Teile führen. Das Öl kann auch in das Lötmaterial gelangen, was zu einer schlechten Lötung und Verbindung führt. Die Rückströmung kann auch das gesamte Pumpensystem betreffen, nicht nur die Pumpen selbst.
Was sind mögliche Ursachen für Backstreaming?
- Abnormaler Übergang ins Hochvakuum - der normale Übergang beträgt 80 Mikrometer oder weniger.
- Betrieb oberhalb von einem Mikron über einen längeren Zeitraum
- Niedriger oder hoher Ölstand
- Überhitzte Diffusionspumpe - die ideale Wassertemperatur sollte 60-80 °F (16-27 °C) betragen; die maximale Wasseraustrittstemperatur beträgt 125 °F (52 °C). Ursachen für Überhitzung sind unter anderem:
- Geringer oder kein Wasserdurchfluss
- Zu heißes Wasser im Zulauf (über 90 °F / 32 °C)
- Lecks in der Diffusionspumpe oder im Kreislauf der Haltepumpe
- Geringe Wärmezufuhr zur Diffusionspumpe, verursacht durch:
- Defekte Heizgeräte
- Durchgebrannte Sicherungen oder unterbrochene Drähte
- Zu viel Öl
- Übermäßige Wassermenge
- Wassertemperatur zu niedrig
- Falsche oder unsachgemäß verdrahtete Ersatzheizgeräte
- Thermoelement der Diffusionspumpe, das kalter Luft ausgesetzt ist
- Auffüllen der Kammer, bevor das Hauptventil vollständig geschlossen ist
- Schlecht arbeitende oder unterdimensionierte Vorvakuumpumpe
- Wechsel des Herstellers der verwendeten Pumpflüssigkeit. Dies kann die Betriebstemperatur beeinflussen, so dass sie zu heiß oder zu kalt wird.
Anmerkung: Verwenden Sie für den Anschluss von Heizgeräten keine Kupferdrähte oder -kabelschuhe, da diese oxidieren und ausfallen können. Verwenden Sie nur Nickeldrähte und Kabelschuhe. Als kurzfristige Lösung können auch Kabelschuhe aus rostfreiem Stahl verwendet werden.
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