真空炉とポンプシステムに影響する一般的なメンテナンス問題を考えるとき、逆流は拡散ポンプでより多く報告されている問題の一つである。
すべての拡散ポンプにおいて、少量の逆流が発生する。これは多くの用途では許容されるが、より重要な用途では、粒子が拡散ポンプを出てメインプロセスに達するのを防ぐためにバッフルを設置する必要がある。拡散ポンプとメインバルブの間にサブ冷凍コールドトラップを使用すると、オイルが炉内に逆流するのを大幅に抑えることができます。
バックストリーミングとは何か？
ポンピングシステムは、ある方向にポンピングするように設計されている。バックストリーミングは、ポンピング液が希望の方向とは逆に流れる場合に発生します。その結果、ポンピング液は希望の流れ方向ではなく、真空炉チャンバーに入り、再循環されるポンプのベースに戻ることになります。チャンバー内の圧力が上昇し続けると（クロスオーバーの後）、移行中の流体は圧力差によって容器内に引き込まれる可能性が高くなります。
逆流はどのような問題を引き起こすのか？
逆流は、高温部や部品の汚染につながる可能性がある。また、オイルがろう材に入り込み、ろう付けや接合が不十分になることもあります。バックストリームはまた、ポンプ本体だけでなく、ポンプシステム全体にも影響を及ぼす可能性があります。
逆流の原因として何が考えられるか？
- 高真空への異常なクロスオーバー-正常なクロスオーバーは80ミクロン以下。
- 1ミクロン以上での長時間運転
- オイルレベルが低いか高い
- ディフュージョンポンプの過熱-理想的な水温は16-27 °C (60-80 °F)、水の出口最高温度は52 °C (125 °F)。過熱の原因には以下が含まれる：
- 水量が少ない、または水量がない
- 入水温度が高すぎる（90 °F / 32 °C 以上）
- 拡散ポンプまたはホールディングポンプ回路の漏れ
- 拡散ポンプへの入熱が少ない：
- ヒーターの欠陥
- ヒューズ切れまたは断線
- オイルが多すぎる
- 水分過多
- 水温が低すぎる
- 交換用ヒーターの配線間違いまたは不適切な配線
- 冷気にさらされた拡散ポンプの熱電対
- メインバルブが完全に閉じる前にチャンバーを埋め戻す。
- 運転不良またはサイズが小さいバックポンプ
- 使用するポンプ液のメーカーを変更すること。これは作動温度に影響し、熱すぎたり冷たすぎたりすることがある。
注意してください： ヒーターの接続に銅線やラグは使用しないでください。ニッケル製のワイヤーとラグのみを使用してください。短期的な解決策として、ステンレス製ラグを使用することもできます。
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