熱処理炉を使用する場合、均一性、信頼性、再現性を確保するための機器の検証は極めて重要です。予防保全の適切な方法を活用することで、炉の寿命を延ばし、将来のメンテナンスや修理に備えることができます。
炉の妥当性を確認するために実施できる最も重要な試験の一つが温度均一性調査（TUS）です。TUSとは、熱安定化前後の炉の有効作業ゾーン内の温度変化を測定する試験、または一連の試験のことです。最初のTUSは必ず実施してください 炉の初回使用前.
平均して、TUSを行うべきである 以上 年に2回。もちろん、どのくらいの頻度で実施するかは、加入している仕様や炉の全体的な性能による。
TUSが故障した場合、つまり温度が本来あるべき位置にない場合は、ホットゾーンが劣化し始めていることを知らせる。平均して、ホットゾーンは5年から7年ごとに交換する必要があります。
炉の検証の他の形態としては、漏洩検知とシステム精度テスト（SAT）がある。リーク検知に関しては、炉の直線リーク率を常に把握し、週1回から月1回のリークチェックを行うべきである。リーク率を把握し、リークチェックを行うことで、真空の完全性を確認することができます。また、制御用熱電対の精度を確認するために、毎週SATを実施する必要がある。その他の予防保守として重要なのは、定期的なポンプ保守と以下のようなものです。 クリーンアップサイクル.
効率的で効果的なメンテナンスプログラムを維持するためには、使用前の機器の検証に加え、正確な記録を残すことも極めて重要です。装置を始動させたら、以下のことを記録した性能ログを注意深く維持することが重要です：
- 機械式ポンプのブランクオフ圧力
- 一定圧力までのパンプダウン時間
- 究極の真空
- チャンバーがブランクの場合のリークアップ率
その他の有用なメンテナンスのヒントについては、実施すべき予防メンテナンスのチェックリストを参照してください。 、毎日の実行として。, ウィークリー, 毎月 と はんねんごとに.