作者：吉姆-格兰，益普生技术总监
没有人愿意打开自己的 真空炉 门，看到到处都是油。扩散泵 回流 这可能会让操作员感到沮丧，有时也会让维护人员难以诊断。它还可能影响流程和真空规传感器。
每当出现逆流迹象时，最好先检查一下常见的问题。以下是一份可能的罪魁祸首清单，当您发现自己正在处理扩散泵逆流问题时，可以对其进行检查：
☑︎ 供应扩散泵的冷却水温度是否为华氏 90 度或以下？（理想温度应在华氏 60 度至 80 度之间）。
☑︎ 从扩散泵流出的冷却水温度是否达到或超过 125°F？
☑︎ 为扩散泵供电的所有三个电源相位的安培数是否相同？(如果不是，则可能存在加热器问题、跳线断裂、保险丝熔断或其他与电气服务有关的问题）
☑︎ 扩散泵的油位是多少？
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- 过高可能会导致系统运行过冷
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- 太低，系统会发热
- 无论哪种极端情况，都会造成导致逆流的情况
☑︎ 您的分频器是否设置为 90 微米或以上？
☑︎ 在冷炉中，从约 80 微米到 1 微米的抽气时间是否超过 3 分钟？
☑︎ 您是否曾将炉子置于高真空抽气状态并冷藏一天以上？
☑︎ 最近更换机油时是否使用过不同的机油、再生机油或不同系列的机油？
☑︎ 粗加工阀座在关闭时是否泄漏？
☑︎ 您是否在低温条件下以及在最高温度水平时对炉子进行过泄漏测试？(通常情况下，炉子在热的时候会出现泄漏，而在冷的时候由于膨胀则不会出现泄漏）。
☑︎ 您使用的是铜线还是不锈钢线和耳片，而不是推荐的镍线和耳片？
如果您已经完成了检查表，但仍未发现问题，那么现在是致电 Ipsen 服务技术人员并安排服务呼叫的好时机。请联系您当地的区域服务经理，或致电 1-844-GO-IPSEN (1-844-464-7736)。