背面

トラブルシューティングチェックリスト - 拡散ポンプの逆流

Ipsen テクニカルディレクター ジム・グラン

vacuum furnace diffusion pump

誰も自分の店を開けたがらない。 真空炉 ドアを開けると、あちこちにオイルが見える。拡散ポンプ 逆流 は、オペレーターをいらいらさせ、時にはメンテナンス・スタッフが診断するのを難しくすることがある。また、プロセスや真空計のセンサーに影響を与えることもあります。

バックストリームの徴候があるときはいつでも、通常の容疑者をチェックすることをお勧めします。ここでは、拡散ポンプの逆流を発見したときに確認すべき、原因と思われるもののチェックリストを示します:

☑︎ 拡散ポンプに供給する冷却水の温度は華氏90度以下ですか(理想的な温度は華氏60度から80度です)。

☑︎ 拡散ポンプから出る冷却水は、華氏125度以上ですか?

☑︎ ディフュージョンポンプを供給する3つの電源フェーズは、すべて同じアンペア数を引いていますか?(そうでない場合は、ヒーターの問題、ジャンパーワイヤーの断線、ヒューズ切れ、またはその他の電気サービスに関連する何かが考えられます)

☑︎ ディフュージョンポンプのオイルレベルは?

    • 高すぎるとシステムが冷たくなる

    • 低すぎるとシステムが熱くなる
    • どちらか一方が極端になれば、逆流につながる状況を作り出すことになる

☑︎ クロスオーバーは90ミクロン以上に設定されていますか?

☑︎ 冷えた炉の中で、約80ミクロンから1ミクロンになるまでのポンピング時間は3分以上ですか?

☑︎ 高真空ポンピング中の炉を寒いまま1日以上放置していませんか?

☑︎ 最近、別のフルード、再生フルード、または別の種類のフルードを使用したオイル交換がありましたか?

☑︎ バルブのシートが閉じているときに漏れはないか。

☑︎ ピーク時の温度だけでなく、冷えた状態でも炉のリークテストを行いましたか?(多くの場合、炉が高温のときに漏れが現れますが、膨張の結果、低温のときには存在しません)。

☑︎ 推奨されているニッケル・ワイヤーやラグではなく、銅やステンレスのワイヤーやラグを使っていますか?

チェックリストを実行しても問題が発見されない場合は、Ipsen サービス技術者に電話し、サービスコールをスケジュールする良い機会です。各地域のサービスマネージャーに連絡するか、1-844-GO-IPSEN (1-844-464-7736) までお電話ください。

印刷可能なチェックリストはこちらからダウンロードできる。