The heart of every vacuum furnace is the pumping system, and it is just as critical as the heart of the human body. To get the best performance out of your vacuum furnace, we put together the following information on the basics of pumping systems, common problems, and best practices.
泵送系统基础知识
真空炉系统利用各种类型的抽气系统组合将真空室中的大气压力抽空至特定工艺所需的范围。由于真空炉的核心是真空系统，因此必须按照操作手册的规定维护抽气系统，同时考虑到所进行的工艺类型可能需要的任何特殊调整。
每个真空炉抽气系统通常包括三个子系统：粗抽泵、真空增压泵和扩散泵。机械泵和鼓风机通常被称为粗抽泵，用于真空炉从大气压到预定压力水平的初始抽气阶段。
利用扩散泵可以获得比机械泵和增压成套设备通常更低的系统压力。扩散泵不能独立运行；在空闲模式下，它需要一个保持泵同时运行，以降低扩散泵的内部压力。在扩散泵运行期间，保温泵的阀门被隔离，机械泵和鼓风机充当扩散泵的备用泵。
不需要如此低系统压力的客户可以使用两级系统来代替三级系统。两级系统可将真空炉的压力水平从大气压提升到 4.5 x 10 的压力水平。-2 托，而不是 8.0 x 10-6 带扩散泵的熔炉的托。
在确定哪种系统适合您的设备时，您必须考虑压力、气量和所需的抽空率，以及您的特定真空炉设备和工艺要求。
Maintaining Your Vacuum Pumping System: Common Problems
为了保持高效的泵送系统，您需要认识到机械泵和扩散泵可能出现的最常见问题，并知道如何纠正这些问题。
机械泵的常见问题
油污染是机械泵最常见的问题。泵送气体中的蒸汽经常与油混合，会降低泵送效率。为防止污染，应打开泵的气镇阀以帮助去除水蒸气。机械泵的其他常见问题包括油泥积聚、皮带松动、油位不当、油管堵塞、油温设置不当以及油中含有颗粒（会导致阀门损坏）。
扩散泵的常见问题
逆流是扩散泵报告较多的问题之一。如果让炉子在冷抽状态下放置 24 小时，或者由于冷却剂流量不足而导致炉子过热，就会出现这种问题。当真空压力持续下降时，流体气体分子会试图反向流向真空容器。使用冷阱可降低油逆流进入炉子的能力。扩散泵的其他常见问题包括电源故障、前线压力过高、锅炉板上的回油口堵塞、加热器故障以及抽气过程中系统泄漏率过高。
Enemy Number One – Water Vapor
水蒸气是真空热处理过程中的头号敌人。水蒸气会对工艺产生负面影响，因此必须采取预防措施防止吸入空气或水。对所有接头、焊缝、密封件、阀门和泵进行泄漏检测是成功抽气和炉子运行的关键。在装料和卸料过程中，限制炉膛暴露在大气条件下的时间。利用氮气或氩气对设备进行回填，有助于将湿气的影响降至最低，并防止水蒸气滞留在热区内。
Daily Checklist for Effective Pump Operation:
- Check the oil levels on all pumps. Diffusion pump oil levels that are too high or too low can cause backstreaming.
- Check the oil consistency. Cloudy or discolored oil may indicate the presence of moisture or other contaminants.
- Make sure the operating temperature of the roughing pump is at 140 °F (60 °C).
- Check the water temperature to the diffusion pump. Inlet water supply should be at or under 85 °F (29 °C). Water outlet should be at or under 125 °F (52 °C). An overheated diffusion pump can be the result of poor water flow and leaks in the pumping system.
- Make sure the crossover setting on the diffusion pump is 60-80 microns.
- For older furnaces, make sure the vacuum level is −28 to −29 inches of mercury when the booster is activated. For newer furnaces with a VFD, the booster is activated at atmospheric pressure.
就像身体的健康状况反映了您对它的保养一样，真空炉系统的性能也反映了您对它的保养。了解真空炉系统的组成以及如何对其进行适当的保养，对于保持系统平稳运行、减少停机时间或计划外维修至关重要。正确对待它，它也会正确对待您！